X線検査事例|X線非破壊検査装置|マイクロフォーカス|X線検査装置|X線CTスキャン|X線透視画像|株式会社東研

当社が自社開発したナノフォーカスX線源搭載の検査装置を使用して撮像した検査事例です。
各装置はマイクロチャートを用いてメンテナンスを行い確かな分解能を維持しています。

TUX-5000F用
マイクロチャートのX線透過像
(黒ライン0.1μm　
白ライン0.2μm)

TUX-3000W用
0.4μmマイクロチャート

●　X線CT検査

型式	管電圧	焦点サイズ(分解能)
ナノフォーカスX線CT専用機 TOHKEN-Sky Scan 2011	20～80kV	0.4～1μm 最高空間分解能　0.15μm/voxel
TUX-3000W＋CT(直交型)	40～120kV	0.4～3μm
TUX-3210(傾斜型)	40～120kV	0.4～3μm

■ナノフォーカスX線CT専用機（TOHKEN-Sky Scan 2011）従来のX線CTとは全く異なる次元の高倍率・高分解能で、複合材料・多孔体や生物試料の3次元構造を観察できます。

GFRP	竹炭	メダカの頭部

■直交型CT（TUX-3000W＋CT） CSP・LED・レーザ素子・水晶振動子等小型電子部品の断面観察による不良検査が行えます。

金バンプの断面観察	ハンダボールの断面観察(低倍・高倍)

■傾斜型CT（TUX-3210）大型実装基板や部品の撮像希望箇所を切り出さずに断面観察が可能です。

ハンダボールの接合面観察

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■透過型X線装置（TUX-3000W・TUX-3200）　微細なクラック・ボイドの検査から大型実装基板・部品の内部検査まで　幅広いニーズに対応できます。

ボンディングワイヤセカンドコネクションのクラック	セラミックコンデンサ0603

アルミワイヤ	基板実装BGAの傾斜観察

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■加熱型X線装置（TUX-3000W＋加熱ユニット・ TUX-3200＋加熱ユニット）　設定したプロファイルに沿って加熱しながら、リアルタイムでボイド発生や　熱変形の観察・録画が行えます。

ハンダペーストのボイド発生観察

●　Ｘ線非破壊検査のみをご利用のお客様は、当社グループの東研Ｘ線検査株式会社へお問い合わせください。

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