【汎用ナノフォーカスＸ線顕微検査装置｜TUX-3200】バーコード、２次元コード、Ｘ線検査、自動認識システムの東研 /// TOHKEN on the WEB

汎用ナノフォーカスＸ線顕微検査装置

TUX-3200

世界最高の線源で、より高精度な解析・検査を実現する汎用Ｘ線顕微検査装置

TUX-3200

検査時間を短縮するステージ制御機能、定量的な検査を可能とする自動計測機能が検査・解析業務を強力にサポートします。もちろん、業界で定評ある加熱装置、マニピュレータＣＴも搭載可能です。

製品仕様
型式	TUX-3200
Ｘ線源種類	0.4μm～3μm分解能切り替え式開放管Ｘ線源
フィラメント種類	高輝度タイプLab6チップ
最高分解能（マイクロチャート）	0.4μm（JIMAチャート）
Ｘ線出力	管電圧：40～120kV / 管電流：0～200μA
最大幾何倍率	1200倍
最大モニター倍率	4800倍
ステージサイズ	直径400mm
最大検査範囲	335mm×300mm
ステージストローク	Ｘ軸：±200nm、Ｙ軸：±150mm、Ｚ軸：230mm、θ軸：360°
傾斜検出方式／角度	検出器傾斜方式 / 60°
検出器	検出器：4/2インチ切り替え式Ｉ.Ｉアルミウィンドウカメラ：145万画素ＣＣＤ 10bitグレースケール
最大視野サイズ	31mm×23mm
本体外形寸法	1515(W)×1215(D)×1900(H)mm
本体重量	1500kg
電源	AC100V、3kVA（含オプション）
	検査事例はこちら