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傾斜ＣＴ専用ナノフォーカスＸ線顕微検査装置

TUX-3210

傾斜ＣＴ対応ナノフォーカスＸ線顕微検査装置

TUX-3210

Ｘ線源の分解能、ステージの精度、再構成アルゴリズムの３つの要素が、Ｘ線ＣＴの分解能を決定する重要なポイントとなります。傾斜ＣＴ対応ナノフォーカスＸ線顕微検査装置 TUX-3210はそのすべてに対し、ナノフォーカスＸ線源、回転軸の偏芯を最小化した高精度ステージ、そして新たなＣＴアルゴリズムの採用で、高精度なＣＴ画像取得を可能にしたＸ線検査装置です。

製品仕様
型式	TUX-3210
Ｘ線源種類	0.4μm～3μm分解能切り替え式開放管Ｘ線源
フィラメント種類	高輝度タイプLab6チップ
最高分解能（マイクロチャート）	0.4μm（JIMAチャート）
Ｘ線出力	管電圧：40～120kV / 管電流：0～200μA
最大幾何倍率	1000倍
最大モニター倍率	4000倍
ステージサイズ	440mm×440mm
対象ワークサイズ例	200mm×200mm
ステージストローク	Ｘ軸：±100nm、Ｙ軸：±100mm、Ｚ軸：200mm、θ軸：605°
傾斜検出方式／角度	検出器傾斜方式 / 60°
検出器	検出器：4/2インチ切り替え式Ｉ.Ｉアルミウィンドウカメラ：145万画素ＣＣＤ 10bitグレースケール
最大視野サイズ	33mm×24.5mm
本体外形寸法	1500(W)×1200(D)×1800(H)mm
本体重量	1100kg
電源	三相AC200V、5kVA（含オプション）
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