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半導体・電子部品向けナノフォーカスX線検査装置

TUX-5000F

史上最高の高分解能 0.1ミクロンのＸ線検査装置

TUX-5000F

史上最高０．１ミクロンの分解能を実現したＴＵＸ－５０００Ｆ。Ｘ線源に新開発のＦＥ型電子銃を搭載し、低電圧でも高輝度の撮像環境をご提供します。カーボンなど、これまで内部検査が難しかったＸ線の透過率が高い素材でも、高コントラストの画像を得ることができます。
モニター倍率は１００００倍。検査物を回転・傾斜させても観察ポイントを外さないユーセントリック・ステージも標準で装備しており、高倍率・高コントラストの画像が非破壊検査を飛躍的に向上させます。

製品仕様
型式	TUX-5000F
Ｘ線源種類	FE型開放管Ｘ線源
フィラメント種類	熱電界放射陰極ZrO/W(100)
最高分解能（マイクロチャート）	0.1μm（NTT-ATチャート）
Ｘ線出力	管電圧：20～80kV / 管電流：0～200μA
最大幾何倍率	2500倍
最大モニター倍率	10000倍
ステージサイズ	直径60mm
最大検査範囲	直径60mm
ステージストローク	Ｘ軸：±30mm、Ｙ軸：±30mm、Ｚ軸：200mm、θ軸：350°
傾斜検出方式／角度	ステージ傾斜方式 / 45°
検出器	検出器：4/2インチ切り替え式Ｉ.Ｉアルミウィンドウカメラ：145万画素ＣＣＤ 10bitグレースケール
最大視野サイズ	35mm×26mm
本体外形寸法	1300(W)×1560(D)×2230(H)mm
本体重量	約2000kg
電源	単相AC200V、6kVA
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