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半導体・電子部品向けナノフォーカスX線検査装置

TUX-3000W

0.4ミクロンの高分解能・高輝度・高倍率を実現したＸ線検査装置

TUX-3000W

世界で初めて１ミクロン以下の分解能を実現したＴＵＸ－３０００Ｗ。高輝度Ｘ線源を搭載したことで低電圧でも高解像度・高コントラストの画像を撮ることができます。これまでは管電圧をあげることで内部構造が撮像できなかった積層セラミックコンデンサの電極やウエハーの貫通電極も効率よく検査・分析が可能。高分解能・高輝度・高倍率の非破壊検査環境を提供します。
モニター倍率は６０００倍。検査に影響を及ぼす装置周辺の振動も、標準装備の防震器がカット。安定した環境での正確な内部検査を実現します。

製品仕様
型式	TUX-3000W
Ｘ線源種類	0.4μm～3μm分解能切り替え式開放管Ｘ線源
フィラメント種類	高輝度タイプLab6チップ
最高分解能（マイクロチャート）	0.4μm（JIMAチャート）
Ｘ線出力	管電圧：40～120kV / 管電流：0～200μA
最大幾何倍率	1500倍
最大モニター倍率	6000倍
ステージサイズ	直径60mm
最大検査範囲	直径60mm
ステージストローク	Ｘ軸：±30nm、Ｙ軸：±30mm、Ｚ軸：200mm、θ軸：350°
傾斜検出方式／角度	ステージ傾斜方式 / 45°
検出器	検出器：4/2インチ切り替え式Ｉ.Ｉアルミウィンドウカメラ：145万画素ＣＣＤ 10bitグレースケール
最大視野サイズ	16mm×12mm
本体外形寸法	1040(W)×1180(D)×2080(H)mm
本体重量	約1000kg
電源	AC100V、3kVA（含オプション）
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