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新機能材料・生物試料用 ナノフォーカスCT専用検査装置
TOHKEN-SkyScan2011
150nmの空間分解能X線ナノCT装置
TOHKEN-SkyScan2011
X線検査装置 TOHKEN-SkyScan2011は、世界最高のX線源とCTテクノロジーが融合した世界初のX線CT装置です。
完全自社開発の超微小焦点X線源を搭載、空間分解能は世界最高の150ナノメートル。カーボン素材や多孔材料などの構造解析を可能にしました。
製品仕様
型式
TOHKEN-SKYSCAN2011
X線源種類
線源縦置き型 0.4μm〜3μm分解能切り替え式開放管X線源
フィラメント種類
高輝度タイプLab6チップ
最高分解能(マイクロチャート)
0.4μm(JIMAチャート)
X線出力
管電圧:20〜80kV / 管電流:100〜200μA
空間分解能
<150〜120nm/voxel
最大サンプルサイズ
直径9mm
7軸精密マニピュレータ
拡大率移動、カメラポジション移動、
検査ステージプレアライメント、X軸・Y軸・θ軸・Z軸
位置決め精度
200nm以下
再構成時間
1断面あたり12秒
再構成アルゴリズム
コーンビーム再構成法(Feldkamp方式)
検出器
検出器:I.I ベリリウムウィンドウ
カメラ:130万画素CCD 12bitグレースケール
画素数:1280×1024ピクセル
本体外形寸法
1300(W)×800(D)×1400(H)mm
本体重量
540kg
電源
AC100V、2kVA
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