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バーコード２次元コード、Ｘ線検査自動認識システムの東研
 
Ｘ線検査関連商品
史上最高０．１ミクロンの分解能を実現したＴＵＸ−５０００Ｆ。Ｘ線源に新開発のＦＥ型電子銃を搭載し、低電圧でも高輝度の撮像環境をご提供します。カーボンなど、これまで内部検査が難しかったＸ線の透過率が高い素材でも、高コントラストの画像を得ることができます。<br />モニター倍率は１００００倍。検査物を回転・傾斜させても観察ポイントを外さないユーセントリック・ステージも標準で装備しており、高倍率・高コントラストの画像が非破壊検査を飛躍的に向上させます。
半導体・電子部品向けナノフォーカスX線検査装置
TUX-5000F
史上最高の高分解能 0.1ミクロンのＸ線検査装置
 
Ｘ線源の分解能、ステージの精度、再構成アルゴリズムの３つの要素が、Ｘ線ＣＴの分解能を決定する重要なポイントとなります。 傾斜ＣＴ対応 ナノフォーカスＸ線顕微検査装置 TUX-3210はそのすべてに対し、ナノフォーカスＸ線源、回転軸の偏芯を最小化した高精度ステージ、そして新たなＣＴアルゴリズムの採用で、高精度なＣＴ画像取得を可能にしたＸ線検査装置です。
傾斜ＣＴ専用ナノフォーカスＸ線顕微検査装置
TUX-3210
傾斜ＣＴ対応 ナノフォーカスＸ線顕微検査装置
 
検査時間を短縮するステージ制御機能、定量的な検査を可能とする自動計測機能が検査・解析業務を強力にサポートします。 もちろん、業界で定評ある加熱装置、マニピュレータＣＴも搭載可能です。
汎用ナノフォーカスＸ線顕微検査装置
TUX-3200
世界最高の線源で、より高精度な解析・検査を実現する汎用Ｘ線顕微検査装置
 
世界で初めて１ミクロン以下の分解能を実現したＴＵＸ−３０００Ｗ。高輝度Ｘ線源を搭載したことで低電圧でも高解像度・高コントラストの画像を撮ることができます。これまでは管電圧をあげることで内部構造が撮像できなかった積層セラミックコンデンサの電極やウエハーの貫通電極も効率よく検査・分析が可能。高分解能・高輝度・高倍率の非破壊検査環境を提供します。<br />モニター倍率は６０００倍。検査に影響を及ぼす装置周辺の振動も、標準装備の防震器がカット。安定した環境での正確な内部検査を実現します。
半導体・電子部品向けナノフォーカスX線検査装置
TUX-3000W
0.4ミクロンの高分解能・高輝度・高倍率を実現したＸ線検査装置
 
Ｘ線検査装置　TOHKEN-SkyScan2011は、世界最高のＸ線源とＣＴテクノロジーが融合した世界初のＸ線ＣＴ装置です。<br />完全自社開発の超微小焦点Ｘ線源を搭載、空間分解能は世界最高の150ナノメートル。カーボン素材や多孔材料などの構造解析を可能にしました。
新機能材料・生物試料用　ナノフォーカスＣＴ専用検査装置
TOHKEN-SkyScan2011
150nmの空間分解能Ｘ線ナノＣＴ装置
 
      

 
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