「生きている細胞がみたい」。ここから東研のＸ線検査装置の開発は始まっています。
被検査物を壊さずに微細な内部構造を解析するなど、あらゆる検査が可能です。
高密度の非破壊検査を実現したＸ線検査装置
製品の計量化・小型化などに伴い、内部の実装基板はますます高密度化しています。外観検査では不可能な、これらの検査にはＸ線が最適です。
「Ｘ線顕微検査装置」は、比較的波長の長い「軟Ｘ線」を使用して、従来のＸ線検査装置では発見できない微細な欠陥を検出。効率的な非破壊検査を実現します。また世界的にも信頼の高いベルギーのＳｋｙＳｃａｎ社とタッグを組み、世界最高のＸ線源とＣＴテクノロジーが融合した「Ｘ線ナノＣＴ検査装置」は、素材の内部構造や成分解析など、新しい分野でも高い評価を受けています。
世界最高と高く評価されるＸ線の研究開発技術
より高精度なＸ線検査装置の開発を。その目標の実現に向けて、東研は挑戦を続けています。 平成１５年に０．１ミクロンの超微小焦点を持つ高分解能Ｘ線顕微検査装置の開発に成功。主に小型・高密度化が進む半導体チップの品質評価などに役立っています。
現在は０．１ミクロン以下の超微小焦点を備えたＸ線装置の開発、Ｘ線源そのものを０．００１ミクロンにする研究に取り組んでいます。これにより新素材の開発や医療の分野など新しい市場の拡大が期待されています。「自動認識システムの先駆者でありたい」。この精神こそが、世界最高の技術を実現する重要な原動力となっています。
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